반응형 현상공정1 반도체 공정의 꽃, Photo 공정 Process와 재료 "Photo 공정이란?" 실리콘 웨이퍼 위에 전자회로의 기본을 이루는 복잡한 패턴을 만들기위한 반도체 제조의 기본 단계를 포토리소그래피(Photolithograph)라고 합니다.쉽게말해 사진을 찍어서 인화하는 것처럼 감광 성질이있는 Photoresist(포토레지스트)를 얇게 바른후, 원하는 패턴에 맞게 Mask를 올려놓고 빛을 가해 원하는 회로를 형성하는 Porcess입니다. 1. 기판준비Photo 공정의 시작은 먼저 Silicon Wafer 기판을 준비한 후 기판 표면을 깨끗하게 유지하기 위해 세정 해줍니다. 2. Photoresist 도포Photoresist라는 물질을 기판위에 얇게 그리고 균일하게 도포합니다.이 물질은 빛에 민감하게 반응하기 때문에 빛에 노출되면 화학적 변화를 통해 성질이 변하게.. 2024. 4. 15. 이전 1 다음 반응형